气体质量流量控制器用于对于气体的质量流量进行精密的测量和控制;气体质流量计用于对于气体的质量流量进行精密的测量。气体质量流量控制器常用于扩散,氧化,分子束外延,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜等设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造的设备中。气体质量流量控制器经常被用于石油化工,冶金,制药等。气体质量流量控制器的特点:气体质量流量控制器的精度比较高,重复性好。气体质量流量控制器的主要优点有适用范围宽。江苏耐腐蚀气体质量流量控制器维护
在使用气体质量流量控制器时的注意事项:1、加装过滤器:使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器,如果流量计出口接有液体源瓶,应在流量计出口加装单向阀,防止液体回流损坏流量计。2、使用腐蚀性气体:流量计通道采用的材料为:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2),氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清晰、使用得当的条件下,可以用于控制一般的腐蚀性其他使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时,应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。江苏耐腐蚀气体质量流量控制器维护气体质量流量控制器可使用流量计算机控制或显示流量。
气体质量流量控制器拥有的性能稳定、耐腐蚀性强及响应测量速度快等优势使气体质量流量控制器在多个行业备受赞许与肯定。这促使那些信誉好的气体质量流量控制器生产厂家的地位随之水涨船高,据这些厂家反馈为了满足气体质量流量控制器出厂前的耐气压、密封漏气率、材料耐腐蚀性等安全要求,厂家在生产后都会进行严格的控制器性能测试。对于一些特殊的控制器,有条件的用户可以购买服务完善的气体质量流量控制器,让相关的工作人员上门进行安装,或者是向厂商咨询安装事宜。
提前做好使用测试可以保证气体质量流量控制器使用时的准确度:使用测试可以更进一步的完成提前调试的需求,确保气体质量流量控制器的品质,尤其对于本身的精确度完善更是有着周全的保障。所以在特定的生产开展之前一定要提前按照气体质量流量控制器检定规程的相关内容做好测试的落实,确保在测试数据精确的前提保障下进而落实实际的生产操作,才能在真正意义上更好的为优化的气体质量流量控制器测量精确度的落实坚定后盾依托。总之品质好的气体质量流量控制器准确度的保障所能带来的生产价值和意义保障不可估量,这也是缘何近些年来越来越多的生产场合开始导入精确化气体质量流量控制器的中心原因之一。不同的工艺气体,分子大小不同、化学特性不同,使用同规格的气体质量流量控制器会存在流量误差和安全隐患。
气体质量流量控制器由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成,只能对气体质量流量进行测量;在MFM基础上加上调节阀构成MFC,既可以对气体质量流量进行测量,也能对流量进行控制。随着等离子行业的快速发展,热式气体质量流量控制器在各种等离子设备中宽泛使用,热式气体质量流量计的主要作用是准确的控制和调节气体的进气流量,等离子设备中需要注入和填充的混合气体,以保证更好的产品性能,就需要更高精度和稳定性好的流量控制器。目前微小量程的热式气体质量流量控制器基于先进的微处理技术,是一款高精度、高重复性的仪表系统,能解决各种不同的气体应用问题。气体质量流量控制器组成配件有流量调节阀门。江苏耐腐蚀气体质量流量控制器维护
热式气体质量流量控制器结构型式的多样灵活,可满足使用现场的不同需求。江苏耐腐蚀气体质量流量控制器维护
在一般情况下,气体质量流量控制器是以sccm和slm表示;s表示stand,指标准状况下;Cc指毫升;1指升,m表示minute,指扮钟。这就意味着在不同的使用条件下,指示的流量全都是标准状态下的流量。标准状态规定为:气钰一101325Pa;温度一0°C。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm、slm不同于mL/min、/min的地方。而对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯、也便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干sIm)即可实现。所以说在标准状态下的体积流量其实就等同于质量流量。江苏耐腐蚀气体质量流量控制器维护